Komerční služby > Ozařovací služby > Úprava fyzikálních vlastností materiálů

Úprava fyzikálních vlastností materiálů

Výroba radiačně dopovaného křemíku

Výroba dopovaného křemíku

Ze současných aktivit na reaktoru LVR-15 je z této oblasti nejdůležitější výroba radiačně dopovaného křemíku.

Pro potřeby elektrotechnického průmyslu lze v jaderném reaktoru připravit křemík s vysokým podílem volných elektronů, a tudíž s nízkým měrným odporem, tzv. NTD Si (Neutron Transmutation Doped Silicon). Z NTD Si se vyrábí převážně vysokonapěťové a výkonové součástky (pro tento druh součástek je použití NTD Si přímo nezbytné).

Monokrystaly křemíku

Ozařují se monokrystaly z vysoce čistého Si. Záchytem tepelného neutronu jádrem 30Si vznikne 31Si, které se s poločasem 2,6 h přemění na stabilní jádro 31P a přitom se uvolní elektron. 31P v polovodičovém materiálu plní funkci donoru. Výhodou tohoto způsobu dopování křemíku je vysoká homogenita donoru v celém objemu monokrystalu.

V reaktoru LVR-15 je v provozu technologické zařízení umožňující ozařování křemíkových monokrystalů do průměru 3“. Připravuje se výroba a instalace dalšího rotačního ozařovacího kanálu včetně nezbytného zakládacího a dalších souvisejících zařízení pro větší monokrystaly, až do průměru 4“. Po jeho zprovoznění se očekává zvýšení výrobní kapacity až na 6 t křemíku za rok.